Barocel 電容式真空壓力計和控制器
Barocel 電容式真空壓力計和控制器

Barocel 電容式真空壓力計和控制器

精確度高達 0.15%,這些真空計通常用於控制多元化製程中的系統, 從工業爐到半導體製造。 作為主動式真空計系列產品的一部分,其具有 0-10V 線性輸出,可直接轉換為壓力讀數。

  • 優點/
  • •低廉的成本即可擁有
  • •雙內建設定點
  • •無漂移:適合負載腔體、嚴苛製程
  • 範圍/
  • 可在常壓到 1e-4mbar 內進行精準控制。
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