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STP 磁浮式渦輪分子泵浦
STP 磁浮式渦輪分子泵浦系列，轉子以磁性軸承完全懸浮。減少占地面積，節省寶貴的製造廠不動產、安裝時間和成本以 300 l/s 到 4,500 l/s 的流速運轉。
-
適用於／
- 半導體蝕刻和 CVD 製程
-
應用／
- 適合需要高運轉時間、無碳氫化合物的抽氣、最低程度維護及低振動的應用。
設備規格
類型
Inlet flange
抽速N2
抽速H2
抽速Ar
終極壓力(Torr)
*without gas ballast
*without gas ballast
Backing port size
Weight
| STP-iX455 | STP-iXL455 | STP-iXR1606 | STP-iXR2206 | STP-iXA2206C | STP-iXA3306C | STP-iXA4506C | ||||||||||
| ISO100K DN100CF |
ISO160K DN160CF |
ISO100K | ISO160K | VG150 ISO160F ICF203 |
VG200、VG250 ISO200F、ISO250F ICF253、ICF305 |
VG200 ISO200F ICF253 |
VG250 ICF305 |
ISO250F VG250 ICF305 |
ISO250F VG250 ICF305 |
ISO320F、VG300 ICF356、VG350 |
VG300 | ISO320F | VG350 | VG400 | ||
| 300ls-1 | 450ls-1 | 300ls-1 | 380ls-1 | 1000ls-1 | 1600ls-1 | 1850ls-1 | 2200ls-1 | 2200ls-1 | 2650ls-1 | 3200ls-1 | 3800ls-1 | 4000ls-1 | 4300ls-1 | - | ||
| 300l/s-1 | 460l/s-1 | 300l/s-1 | 380l/s-1 | 800l/s-1 | 1200l/s-1 | 1250l/s-1 | 1350l/s-1 | - | 2050l/s-1 | 2300l/s-1 | 2700l/s-1 | 2700l/s-1 | 2700l/s-1 | - | ||
| - | - | - | - | - | - | 1650l/s-1 | 2000l/s-1 | 1900l/s-1 | 2300l/s-1 | 2800l/s-1 | 3200l/s-1 | 3400l/s-1 | 3800l/s-1 | - | ||
| 5x10-8 | 10-10 | 5x10-8 | 10-10 | 10-9 | 10-9 | 10-9 | 5x10-8 | 10-10 | ||||||||
| KF25 | KF40 | - | ||||||||||||||
| 16kg | 48kg | 62kg | 80kg | 83kg | 109kg | 111kg | 104kg | 111kg | ||||||||
FEATURES AND BENEFITS
特點優點
可靠性彈性
靈活運用
靈活運用
本系列泵浦的體積輕巧，但效能強大，且以獨立裝置形式提供，相當方便部署。
安裝簡易
無需客戶配線，安裝相對簡易，且隨附內置 IEC 連接器。
內建防護
系統
系統
馬達採封閉式設計，並由馬達冷卻風扇進行冷卻，且藉由熱過載裝置提供過熱保護。
易於維護
使用 O 型密封視鏡也可以簡單地檢查油位與狀況。
提供極限高真空與
快速抽氣速度
快速抽氣速度
各種科學及實驗室應用產業的標準配備
如果您需要穩定、可靠的效能，並且免維護，我們的 STP 磁浮式渦輪分子泵浦系列是符合您需求的最佳指標。轉子以磁性軸承完全懸浮，非常適合需要高運轉時間、無碳氫化合物的抽氣、最低程度維護及低振動的應用。
減少占地面積，節省寶貴的製造廠不動產、安裝時間和成本,機載電源可在高氣流條件下將能源消耗降低多達 32％,以 300 l/s 到 4,500 l/s 的流速運轉。
減少占地面積，節省寶貴的製造廠不動產、安裝時間和成本,機載電源可在高氣流條件下將能源消耗降低多達 32％,以 300 l/s 到 4,500 l/s 的流速運轉。
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