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64.8 特高壓控制閘閥UHV Control Gate Valve
64.8 UHV 控制閘閥系列專為在半導體生產中的濺射或 EUV 等應用中的超高真空工藝中進行可靠、精確的控制和隔離而設計。它滿足了耐用性、模塊化、密封性和可維護性的標準要求，特別關注高正常運行時間和低擁有成本。 64.8 配備了 VATLOCK 技術，可提供可靠的密封，而不會在板上產生任何摩擦。該板充當節流元件並改變閥門開口的傳導性。板載壓力控制器計算所需的板位置以達到設定點壓力。步進電機執行驅動。編碼器監控印版位置。這確保了快速和準確的過程壓力控制。關閉位置中的特殊 VATLOCK 登錄機制保證了漏電隔離與故障安全關閉相結合，以防掉電。 超高真空性能是通過金屬閥蓋密封和波紋管密封饋通以及硫化板密封（O 形圈作為選項）實現的。
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特徵／無潤滑劑、VATLOCK 技術、堅固的不銹鋼機身、可靠、經過驗證的超高壓設計
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好處／可靠精確的控制和隔離、延長免維護週期、擁有成本低
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