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65.3 HV 擺式控制閥 HV Pendulum Control Valve

65.3 HV 擺式控制閥為下游壓力控制和隔離設定了新標準。這款閥門是專為半導體和顯示器生產系統而設計，並具備卓越的可控性。它適用於寬電導範圍，並提供最高水平的性能。可以快速、精細且準確地控制每個擺閘的位置。這種特性使得我們能夠以非常短的響應時間進行精確的下游壓力控制。同時，閥門的預設運動順序可以根據工藝參數的變化進行調整，以適應不斷變化的需求。除此之外，65.3 HV 擺式控制閥還具有出色的顆粒釋放防護性能。通過優化閘門的運動和阻尼關閉機制，成功避免了傳統閥門常見的衝擊和振動問題。

特徵／
快速精確的保壓控制、無衝擊操作：無粒子激活、集成 32 位壓力調節器 (IC2) 和控制性能分析器 (CPA)、“即插即用”改造：無需拆卸或對齊
好處／
延長維護週期、卓越的可靠性、精度和速度運營成本低

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FEATURES AND BENEFITS

高度可控性

專為半導體和顯示器生產系統而設計，能夠非常快速、精確地控制閥門位置，實現精確的下游壓力控制。

防止顆粒釋放性能

通過優化閘門的運動和阻尼關閉機制，避免常見的衝擊和振動問題。

可調適的運動順序

根據不同工藝參數的變化進行調整，能夠適應個別和多變的生產系統需求。

高品質與耐用性

採用精確的機械引導，確保閘門在往復運動中的穩定性和可靠性。

開創未來的控制閥技術

可控性與優異防護性能的新標準

選擇VAT 65.3 HV擺式控制閥，您將享受到卓越的壓力控制和隔離效能，同時獲得高品質和可靠性，滿足半導體和顯示器生產系統的需求。我們為您提供了一個新標準，讓您的系統運行更精確、更順暢。

65.3 擁有一個帶有集成位置控制的電動機，該閥門的驅動控制器具有更高的 32 位數據處理能力，從而實現了更高水平的可控性。此外，閘門的精確機械引導確保了在往復運動中的非接觸式氣流控制以及在所有區域的密封運動中均勻氣密密封。