15.2 特高壓隔離閘閥UHV Isolation Gate Valve
15.2 UHV 隔離閘閥系列專為需要低顆粒生成和衝擊敏感性的應用而設計。這些閥門可用於在高達 UHV < 10-10 mbar 的各種壓力水平下進行真空隔離。 該系列中的所有閥門都配備了 MOOVAT 技術。該技術提供可靠的澆口密封,沒有任何摩擦,並降低了顆粒產生的風險。MONOVAT 技術的一個關鍵特性是硫化澆口密封。這是一種高度可靠且更耐用的密封解決方案。另一個好處是它在低顆粒生成和除氣方面的卓越性能。此外,MONOVAT 技術的特殊軟關閉機構 - 不含任何潤滑劑 - 最大限度地減少了對安裝閥門的系統的機械衝擊影響。在傳統的閥門解決方案中,快速移動的閘門接觸閥體可能會引起機械衝擊。
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特徵/避免顆粒產生的 MOOVAT 技術、分體式、焊接金屬波紋管密封饋通
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好處/軟啟動、擁有成本低、易於維護
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